Устройства для контролируемого испарения жидкостей, предназначенные для получения паров заданного состава, дозирования паров в поток газа или подачи паров в реакционную зону. Необходимы для получения паров для газофазных реакций (CVD, MOCVD), дозирования паров растворителей, испарения реагентов в проточных реакторах, концентрирования растворов.
- Материалы: нержавеющая сталь, титан, фторопласт, кварц
- Нагрев ― электрический (ТЭН, нагревательная лента, блоки нагрева), жидкостное термостатирование
- Дозирование ― перистальтические, шприцевые, капиллярные насосы
- Управление ― PID-регуляторы, программируемые контроллеры, интеграция с системами управления газовыми потоками
Испарители